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GM-2F是一款二通道混氣系統(tǒng)（單進單出或兩混氣），用于情性氣體的控制，可用于管式爐、手套箱、等離子清洗機、CVD系統(tǒng)、小型PECVD系統(tǒng)等。 GYS-3F是一款二通道混氣系統(tǒng)（1單獨2混氣），用于情性氣體的控制，可用于管式爐、等離子清洗機、CVD系統(tǒng)、小型PECVD系統(tǒng)等。 GYS-4F是一款二通道混氣系統(tǒng)（1單獨3混氣），用于情性氣體的控制，可用于管式爐、等

JXB-12是一套低真空機組，其極限真空度為10-3torr。內(nèi)部安裝有雙旋機械泵TRP-12配套使用，其接口為KF25接含有電阻真空計和連接管道接頭等。

GYS-2Z/3Z/4Z/5Z是一款低成本的流量計控制系統(tǒng)，其質(zhì)量流量計和不銹鋼混氣罐都安裝在一個移動柜里，移動柜最大可以承重1000Lbs，與本公司大多數(shù)管式爐配套使用時，可將管式爐置于移動柜上以節(jié)約空間。各通道氣路的流量設(shè)定和狀本示都集中在一個7寸的LCD觸摸屏上，便于操控的同時，可實時查看氣體流量曲線和數(shù)據(jù)。此款設(shè)備廣泛應(yīng)用于材料接種CVD實驗和各種材料的退火實驗。